株式会社エイゾスは、2025年12月15日に東北大学片平キャンパスにて開催された「16th Fraunhofer Symposium in Sendai -Advancements in Sensor, Photonic and Semiconductor Technology and Systems-」にて、登壇ならびにAI解析プラットフォームMulti-Sigma®の技術展示を行いました。
本シンポジウムは、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）と、ドイツの国立研究機関 Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems（ENAS）の共催により開催されました。第16回目となる今回は、センサ／フォトニクス／半導体技術に加え、デジタルツインやAI活用などをテーマに、産学の専門家が集う国際シンポジウムとなりました。
■ 登壇概要
- 発表セッション：Session 2: Digital twin, AI and testing
- 発表者：齋藤 博之（株式会社エイゾス 研究開発部 主幹研究員）
- 発表題目：Integrating Process Workflows in Semiconductors: Linking Process Models via Multi-Sigma® AI Chain Analysis
本発表では、リソグラフィ／エッチング／クリーニングといった各プロセスの予測モデルを構築した後、Multi-Sigma®のAI連鎖解析により各プロセスを連結する事で、スループットを最大化しつつ欠陥率を最小化するようなプロセスパラメータの全体最適化アプローチを紹介しました。
■ 技術展示・デモ概要
当日は、Multi-Sigma®の技術展示およびデモも実施しました。Multi-Sigma®のAI連鎖解析機能を用いた、半導体製造プロセスにおける複数プロセスをまたいだプロセスパラメータの同時・全体最適化のソリューションに高い関心が集まりました。
また、各プロセスをGUI操作のみで連結し、複数プロセスにまたがる要因分析から多目的最適化までの一連ワークフローを、直感的に実行できる点も大きな注目を集めました。
■ Fraunhofer Symposium in Sendai について
Fraunhofer Symposium in Sendai は、2005年10月19日にMEMSパークコンソーシアム設立1周年事業・仙台市国際経済セミナーとして第1回が開催されて以来、コロナ禍の期間を除き、毎年継続して開催されてきました。 これまでに、協力協定の締結や研究拠点の設立、大学間の学術交流などを通じて、日独間の多様な連携の枠組みを背景に交流が深められてきました。
当日は、Multi-Sigma®を用いて解析を行なった事例のリーフレットを多数配布いたしました。これらリーフレットに関しましてはこちらのページからダウンロードいただけます。弊社製品やコンサルティングサービスについてご不明点などございましたら、下記お問い合わせ先からご質問いただけますようお願いいたします。
